掃描電子顯微鏡帶EDS能譜儀

日本電子掃描電鏡JSM-6510A/JSM-6510LA詳細(xì)介紹：

掃描電子顯微鏡帶EDS能譜儀
日本電子掃描電鏡JSM-6510A/JSM-6510LA型與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標(biāo)，就可完成從圖像觀(guān)測(cè)到元素分析的整個(gè)過(guò)程。
掃描電鏡最基本的功能是對(duì)各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨形貌觀(guān)察。大景深圖像是掃描電鏡觀(guān)察的特色，應(yīng)用于生物學(xué)、植物學(xué)、地質(zhì)學(xué)、冶金學(xué)等領(lǐng)域。觀(guān)察可以是一個(gè)樣品的表面，也可以是一個(gè)切開(kāi)的面，或是一個(gè)斷面。冶金學(xué)家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶體的生長(zhǎng)或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過(guò)的木頭的細(xì)微結(jié)構(gòu)，生物學(xué)家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如：花粉顆粒，硅藻和昆蟲(chóng)。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應(yīng)的立體感強(qiáng)的照片。
電子束與樣品作用區(qū)內(nèi)，還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關(guān)信號(hào)。例如：與樣品化學(xué)成分分布相關(guān)的，背散射電子，特征X射線(xiàn)，俄歇電子，陰極熒光，樣品吸收電流等；與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的，背散射電子衍射現(xiàn)象的探測(cè)；與半導(dǎo)體材料電學(xué)性能相關(guān)的，二次電子信號(hào)、電子束感生電流信號(hào)；在觀(guān)察薄樣品時(shí)產(chǎn)生的透射電子信號(hào)等。目前分別有商品化的探測(cè)器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室，用于探測(cè)和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信。

 掃描電子顯微鏡帶EDS能譜儀

日本電子掃描電鏡JSM-6510A/ JSM-6510LA型的規(guī)格：

操作窗口：
直觀(guān)的操作界面的設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶(hù)：
單個(gè)用戶(hù)可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo)，營(yíng)造快捷的操作環(huán)境。用戶(hù)登錄時(shí)，即可加載已注冊(cè)過(guò)的設(shè)定。
同時(shí)顯示兩幅圖像：
畫(huà)面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像。可同時(shí)觀(guān)察樣品的形貌和組成分布。
微細(xì)結(jié)構(gòu)測(cè)量：
適合于多種測(cè)量功能。可在觀(guān)察圖像上直接進(jìn)行測(cè)量。也可將測(cè)量結(jié)果貼至SEM圖像，保存在文件中。
標(biāo)準(zhǔn)的全對(duì)中樣品臺(tái)，能收錄三維照片
3D Sight（選配件），能夠進(jìn)行平面測(cè)量和高度測(cè)量，實(shí)現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀(guān)察到元素分析，配合連貫一條龍
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺(tái)監(jiān)視器，一臺(tái)用于SEM圖像觀(guān)察和另一臺(tái)用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標(biāo)即可同時(shí)控制兩臺(tái)監(jiān)視器。大尺寸畫(huà)面使操作更加簡(jiǎn)便與舒適。
維護(hù)簡(jiǎn)便：
工廠(chǎng)預(yù)置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步驟說(shuō)明。
可信賴(lài)的真空系統(tǒng)：
真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無(wú)活動(dòng)部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護(hù)簡(jiǎn)便的特色。

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