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緊湊型結構以滿足更小的物理空間安裝需求。
高氣流量和高抽速。
可任意角度安裝。
防護等級IP54符合工業環境應用要求。
可應用于腐蝕性氣體工況。
SEMI S2 和 UL認證。
完整的配件系統擴展了潛在客戶的需求。
更長時間維護保養時間。
可現場更換軸承。
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Bearing 軸承 |
Hybrid |
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Compression ratio for Ar 氬氣壓縮比 |
> 1 · 1011 |
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Compression ratio for H2 氫氣壓縮比 |
1.4 · 105 |
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Compression ratio for He 氦氣壓縮比 |
1.3 · 107 |
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Compression ratio for N2 氮其壓縮比 |
> 1 · 1011 |
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Cooling method, optional 冷卻方式，選擇性 |
Air/water |
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Cooling method, standard 冷卻方式，標準 |
Convection |
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Cooling water consumption 冷卻水耗量 |
75 l/h |
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Cooling water temperature 冷卻水溫度 |
5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K |
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Electronic drive unit 控制器 |
with TC 110 |
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Flange (in) 法蘭（進） |
DN 63 ISO-K |
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Flange (out) 法蘭（出） |
DN 16 ISO-KF / G 1/4" |
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Fore-vacuum max. for N2 氮氣最大前級真空 |
22 hPa | 16.5 Torr | 22 mbar |
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Gas throughput at full rotational speed for Ar 氬氣全轉速時的氣流量 |
0.54 hPa l/s | 0.4 Torr l/s | 0.54 mbar l/s |
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Gas throughput at full rotational speed for H2 氫氣全轉速時的氣流量 |
15.3 hPa l/s | 11.48 Torr l/s | 15.3 mbar l/s |
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Gas throughput at full rotational speed for He 氦氣全轉速時的氣流量 |
2.7 hPa l/s | 2.02 Torr l/s | 2.7 mbar l/s |
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Gas throughput at full rotational speed for N2 氮氣全轉速時的氣流量 |
1.3 hPa l/s | 0.98 Torr l/s | 1.3 mbar l/s |
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Interfaces 接口 |
RS-485, Remote |
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Mounting orientation 安裝方向 |
in any orientation |
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Operating voltage 運行電壓 |
24 (± 5 %) V DC |
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Permissible magnetic field max. 容許的最大磁場 |
3.3 mT |
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Protection category 防腐等級 |
IP 54 |
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Pumping speed for Ar 氬氣抽速 |
66 l/s |
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Pumping speed for H2 氫氣抽速 |
48 l/s |
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Pumping speed for He 氦氣抽速 |
58 l/s |
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Pumping speed for N2 氮氣抽速 |
67 l/s |
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Rotation speed ± 2 % 旋轉速度 ± 2 % |
90000 min-1 |
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Rotation speed variable 可變旋轉速度 |
50-100 % |
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Run-up time 啟動時間 |
1.7 min |
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Sound pressure level 聲壓級 |
≤ 48 dB (A) |
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Ultimate pressure according to PNEUROP 根據PNEUROP的極限壓力 |
< 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar |
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Venting connection 排氣連接件 |
G 1/8" |
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Weight 重量 |
2.4 kg | 5.29 lb |
Pfeiffer vacuum渦輪分子泵 Hipace80尺寸
Pfeiffer vacuum渦輪分子泵Hipace80抽速
