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SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結(jié)工藝。以多孔SnO2陶瓷為基底材料,再添加不同的其他物質(zhì),用制陶工藝燒結(jié)而成,燒結(jié)時(shí)埋入加熱電阻絲和測(cè)量電極。此外,也有用蒸發(fā)和濺射等工藝制成的薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,動(dòng)態(tài)特性好。
固體電解質(zhì)是一種具有與電解質(zhì)水溶液相同的離子導(dǎo)電特性的固態(tài)物質(zhì),當(dāng)用作氣體傳感器時(shí),它是一種電池。它無(wú)需使氣體經(jīng)過(guò)透氣膜溶于電解液中,可以避免溶液蒸發(fā)和電極消耗等問(wèn)題。由于這種傳感器電導(dǎo)率高,靈敏度和選擇性好,幾乎在石、環(huán)保、礦業(yè)、食品等各個(gè)領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用,其重要性僅次子金屬—氧物一半導(dǎo)體氣體傳感器。
固定PO2(1)實(shí)際上是(-)極形成一個(gè)電位固定的電極,即參比電極,有氣體參比電極和共存相參比電極兩種。氣體參比電極可以是空氣或其他混合氣體,如:H2一H2O,CO一CO2也能形成固定的PO2(1)。共存相參比電極是指金屬-金屬氧物、低價(jià)金屬氧物-高價(jià)金屬氧物的混合粉末(固相),這些混合物與氧氣(氣相)混合發(fā)生氧反應(yīng)能形成同定的氧壓,因此也能作為參比電極。