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氣體傳感器是氣體檢測系統的核心,通常裝在探測頭內。從本質上講,氣體傳感器是一種將某種氣體體積分數轉成對應電信號的轉換器。探測頭通過氣體傳感器對氣體樣品進行調理,通常包括濾除雜質和干擾氣體、干燥或制冷處理、樣品抽吸,甚至對樣品進行學處理,以便學傳感器進行更快速的測量。
SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結工藝。以多孔SnO2陶瓷為基底材料,再添加不同的其他物質,用制陶工藝燒結而成,燒結時埋入加熱電阻絲和測量電極。此外,也有用蒸發和濺射等工藝制成的薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,動態特性好。
可見,在一定溫度下,固定PO2(1),有上式可求出傳感器(+)極待測氧氣的濃度。除了測氧外,應用β一Al2O3、碳、NASICON等固體電解質傳感器,還可用來測CO、SO2、NH4等氣體。近年來還出現了銻、La3F等可在低溫下使用的氣體傳感器,并可用于檢測正離子。