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工作溫度對傳感器的靈敏度有影響。下圖左圖為SnO2氣敏器件對各種氣體溫度的電阻特性曲線。由圖可見,器件在不同溫度下對各種氣體的靈敏度不同,利用這一特性可以識別氣體種類。制備工藝對SnO2的氣敏特性也有很大的影響。如在SnO2中添加ThO2,改變燒結溫度和加熱溫度就可以產生不同的氣敏效應。
SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結工藝。以多孔SnO2陶瓷為基底材料,再添加不同的其他物質,用制陶工藝燒結而成,燒結時埋入加熱電阻絲和測量電極。此外,也有用蒸發和濺射等工藝制成的薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,動態特性好。
同體電解質在高溫下才會有明顯的導電性。氧鋯(ZrO2)是典型的氣體傳感器的材料。純正的氧鋯在常溫下是單斜晶結構,當溫度升到1000℃左右時就會發生同質異晶轉變,由單斜晶結構變為多晶結構,并伴隨體積收縮和吸熱反應,因此是不穩定結構。在ZrO2中摻入穩定劑如:堿土氧鈣CaO或稀土氧釔Y2O3,使其成為穩定的熒石立方晶體,穩定程度與穩定劑的濃度有關。