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氣體種類繁多,性質各異,因此,氣體傳感器種類也很多。按待檢氣體性質可分為:用于檢測易燃易爆氣體的傳感器,如氫氣、一氧碳、瓦斯、汽油揮發氣等;用于檢測有毒氣體的傳感器,如氣、硫氫、砷烷等;用于檢測工業過程氣體的傳感器,如煉鋼爐中的氧氣、熱處理爐中的二氧碳;用于檢測大氣污染的傳感器,如形成雨的NOx、CH4、O3,家庭污染如醛等。按氣體傳感器的結構還可分為干式和濕式兩類;按傳感器的輸出可分為電阻式和費電阻式兩類;按檢測院里可分為電學法、電氣法、光學法、學法幾類。
SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結工藝。以多孔SnO2陶瓷為基底材料,再添加不同的其他物質,用制陶工藝燒結而成,燒結時埋入加熱電阻絲和測量電極。此外,也有用蒸發和濺射等工藝制成的薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,動態特性好。
1、靈敏度 當氫氣濃度較低時,氫氣敏MOSFET靈敏度很高,1ppm氫氣濃度變,△UT的值可達到10mV,當氫氣濃度較高時,傳感器的靈敏度會降低。 2、對氣體選擇性 鈀原子間的“空隙”恰好能讓氫原子通過,因此,鈀柵只允許氫氣通過,有很好的選擇性。 3、響應時間 這種器件的響應時間受溫度、氫氣濃度的影響,一般溫度越高,氫氣濃度越高,響應越快,常溫下的響應時間為幾十秒。