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還有采用絲網印刷工藝制成的厚膜器件和混合膜器件,這類器件具有集成度高,組裝容易,使用方便,便于批量生產的優點。 電阻型氣體傳感器的一種典型結構,它主要南SnO2敏感元件、加熱器、電極引線、底座及不銹鋼網罩組成。這種傳感器結構簡單,使用方便,可以檢測還原性氣體、可燃性氣體、蒸氣等。
氣敏二極管的特性曲線左移可以看作二極管導通電壓發生改變,這一特性如果發生在場效應管的柵極,將使場效應管的閾值電壓UT改變。利用這一原理可以制成MOSFET型氣敏器件。 氫氣敏MOSFET是一種最典型的氣敏器件,它用金屬鈀(Pd)制成鈀柵。在含有氫氣的氣氛中,由于鈀的催作用,氫氣分子分解成氫原子擴散到鈀與二氧硅的界面,最終導致MOSFET的閾值電壓UT發生變。使用時常將柵漏短接,可以MOSFET工作在飽和區,此時的漏極電流ID=β(UGS—UT)2,利用這一電路可以測出氫氣的濃度。
固定PO2(1)實際上是(-)極形成一個電位固定的電極,即參比電極,有氣體參比電極和共存相參比電極兩種。氣體參比電極可以是空氣或其他混合氣體,如:H2一H2O,CO一CO2也能形成固定的PO2(1)。共存相參比電極是指金屬-金屬氧物、低價金屬氧物-高價金屬氧物的混合粉末(固相),這些混合物與氧氣(氣相)混合發生氧反應能形成同定的氧壓,因此也能作為參比電極。