激光震蕩衰減水分儀在許多領域都非常重要,例如光譜學,化學分析、醫療診斷、環境監測和工業生產中的污染物控制等。在過去二十年間,隨著半導體產業的進步,半導體生產所用的氣體中最大允許的不純度減少了四個數量級。
的確,超高純度氣體對于半導體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點具有極其重要的作用。特別是已經證實了的,氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導致瑕疵[1]。所以半導體制造商要求氣體供應商清楚地保證水分不能大于1-10ppb,今后會要求更低的水平。
半導體產業對高純度氣體的需求對氣體供應商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰。微量水分的監測不僅用于大用量氣體,例如氮氣、氧氣、氫氣、氦氣和氬氣,而且還要監測特殊氣體,例如HCl,HBr,BF3,AsH3,CF4和許多其他氣體。這些氣體往往是高腐蝕性、易反應和有毒的。
廣思科技成立于1985年,總部在新加坡,現已成為一家全球性潔凈室設備,系統解決方案,和潔凈室服務的企業。成為潔凈技術、微污染控制領域的領先者,其中PPB級氣體純化器、MEECO氣體水分儀、Tigeroptics水分儀、lighthouse粒子計數器、激光震蕩衰減水分儀是其主營產品。
在下列服務領域有顯著表現:1.設計建造潔凈廠房、空氣清潔設備,包括ACMV/HVAC系統;2.銷售高純度氣體、超純水、潔凈室監控的儀器;3.提供實驗室設備,如生物安全柜、煙櫥、隔離器、層流工作臺,承接實驗室工程;4.潔凈室第三方測試與驗證(符合NEBB標準);5.純水分析;6.氣體管道測試;7.其他環境及實驗室分析。
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