壓力傳感器芯片及硅片

 Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 專業生產各種微結構壓力傳感器，產品廣泛用于汽車制造、醫療設備和工業生產。SMI不僅設計、生產各類微壓傳感器，并且提供集成化傳感器和基于 MEMS 的傳感器系統代工服務。

作為高性能硅壓力傳感器和加速計的專業生產廠家，SMI 成立于1991年。起初公司專業生產硅低壓傳感器，如今 SMI 已擁有眾多系列的硅微結構傳感器，為各類 OEM 客戶提供質優價廉的產品。

2001年4月該公司被專門生產汽車用 ASIC 的 Elmos 半導體公司收購。通過集成 Elmos 的 ASIC 技術和 SMI 的6 英寸晶圓生產工藝，推出高性能、系統化、低價位的新一代完整片上系統微結構傳感器。2002年8月 SMI 收購了 IC Sensors 的晶圓部，03年 SMI 設計出新型6英寸晶圓生產設備，該設備擁有先進的深度離子刻蝕 (DRIE) 和等離子焊接能力。

主要產品:
1. 壓力傳感器: SMI 主要生產超低壓 (<10 mBar/0.15 PSI) 傳感器，同時還提供超小型、帶數字校準的裸片。
2. 加速計: 主要為高性能集成化和超小型結構。
3. MEMS: 專業生產各種微機電系統 (MEMS), 包括超小型導管傳感器、應變傳感器、濕度傳感器、加速計、定制壓力傳感器等等。
4. 微型封裝產品: SMI 開發出新型用于小輸出線集成電路的封裝產品，該封裝可以使傳感器更易于安裝在印刷電路板上。
5. 信號處理和系統化組件: 提供各種信號處理模塊 (包括傳感器芯片組及集成芯片)。
6. 定制化產品: SMI 還為特殊用途用戶提供定制產品。

應用領域:
1. 工業
   • 常規加溫，通風、空調系統 (HVAC) 和 VAV 控制器
   • I/P 和 P/I 轉換器
2. 汽車制造
   • 輪胎壓力
   • 引擎控制
   • 氣壓測定
3. 醫療設備
   • 呼吸器，通風機，氧氣瓶, 制氧機
   • 風速計
   • 血壓計
4. 常規設備
   • 家用電器
   • 水下呼吸器和調節器
   • 高度計