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Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 專業生產各種微結構壓力傳感器,產品廣泛用于汽車制造、醫療設備和工業生產。SMI不僅設計、生產各類微壓傳感器,并且提供集成化傳感器和基于 MEMS 的傳感器系統代工服務。
作為高性能硅壓力傳感器和加速計的專業生產廠家,SMI 成立于1991年。起初公司專業生產硅低壓傳感器,如今 SMI 已擁有眾多系列的硅微結構傳感器,為各類 OEM 客戶提供質優價廉的產品。
2001年4月該公司被專門生產汽車用 ASIC 的 Elmos 半導體公司收購。通過集成 Elmos 的 ASIC 技術和 SMI 的6 英寸晶圓生產工藝,推出高性能、系統化、低價位的新一代完整片上系統微結構傳感器。2002年8月 SMI 收購了 IC Sensors 的晶圓部,03年 SMI 設計出新型6英寸晶圓生產設備,該設備擁有先進的深度離子刻蝕 (DRIE) 和等離子焊接能力。