雙管擴散爐

2.設備名稱 雙管擴撒爐

3.型號 L4611II-Z/ORB

4.規格 石英玻璃（單）管有效直徑Φ150×2400mm，

管壁厚度5-6 mm。

5.主要配制：

5.1主機部分

5.2溫度控制部分（PID）

5.3氣路部分

5.4氧化室

5.5功率部分

5.6移動工作臺

6.主要技術指標

6.1最高溫度 1280℃

6.2使用溫度 300℃～1200℃

6.3恒溫區長度 大于等于600mm

6.4單點控溫精度 ±0.5℃/24h

6.5升溫功率 20kw

6.6保溫功率 10kw

6.7氮氣流量 大 0～20L/min（可調）

　 小（通過洗氣瓶，容量500～1000ml） 0～1L/min

6.8氫氣流量 0～0.2L/min