太陽能電池片擴散爐

主要特點： 1.關鍵件全部采用進口件，具有高可靠性。 2. 采用進口智能控制器，可輸出四個開關量，對爐溫、閥門動作 進行自動控制，并管理全部工藝時序，可編輯存貯十條工藝曲 線。具有高抗干擾能力。 3. 具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。 4. 具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。 5. 控溫精度好，溫區控溫穩定性好。 6. 新型爐體設計結構，保證工藝過程中溫區溫度的快速穩定，更 適合于連續性大規模生產。 7.閉管式擴散系統更潔凈、更環保。

太陽能電池片擴散主要有開管擴散和閉管軟著陸擴散兩種形式

1閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開收集處理；工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；各種工藝氣體可分開送入石英管內，工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內。閉管軟著陸擴散方式工藝過程完全不受外界環境干擾，工藝質量完全受保護。
2自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用國外進口，可在達到±0.25℃的控制精度。
3送取片方式：懸臂式推拉舟。采用側面布局的懸臂推拉結構，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機構受腐蝕，影響推拉機構的精確性。

太陽能電池片擴散爐主要技術參數