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URE-2000系列光刻機
型號：17
一. 技術特征
1、采用多反射鏡實現(xiàn)均勻照明；
2、采用球氣浮找平，調(diào)平精度高；
3、高倍率雙目雙視場顯微鏡和
并提供USB輸出；既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結果，且曝光
結果和方便存儲；
4、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，溫度小于35度）
5、手動上下版、樣片，手動調(diào)平；手動分離間隙。
6、快門可以單獨開啟，也可以數(shù)字設定自動倒計時曝光（設定范圍0.1s-9999s）
7、采用200W進口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；設備外形美觀精制
性能非?？煽?/span>
二、主要技術指標：
1、曝光面積：ф
2、分辨力： 1.7µm（膠厚2 µm的正膠）；
3、對準精度： ±1µm；
4、掩模樣片整體運動范圍：X：
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
6、樣片尺寸：直徑ф
厚度
7、照明均勻性：±6%（ф
8、掩模相對于樣片運動行程：X: ±
9、汞燈功率：200W（直流）；
10、曝光波長：365nml
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波長小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式：定時（到計時方式）
13、外形尺寸：
