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人們已經發現SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料都存在氣敏效應。用這些金屬氧物制成的氣敏薄膜是一種阻抗器件,氣體分子和敏感膜之間能交換離子,發生還原反應,引起敏感膜電阻的變。作為傳感器還要求這種反應必須是可逆的,即為了消除氣體分子還必須發生一次氧反應。傳感器內的加熱器有助于氧反應進程。
工作溫度對傳感器的靈敏度有影響。下圖左圖為SnO2氣敏器件對各種氣體溫度的電阻特性曲線。由圖可見,器件在不同溫度下對各種氣體的靈敏度不同,利用這一特性可以識別氣體種類。制備工藝對SnO2的氣敏特性也有很大的影響。如在SnO2中添加ThO2,改變燒結溫度和加熱溫度就可以產生不同的氣敏效應。
當加負向偏壓時,載流子基本沒有變,這是肖特基二極管的整流特性。在檢測氣氛中,由于對氫氣的吸附作用,的功函數改變,接觸勢壘減弱.導致載流子增多,正向電流增加,二極管的整流特性曲線會發生左移。下圖右圖為Pd—TiO2氣敏二極管在不同濃度H2的空氣中的特性曲線。因此,通過測量二極管的正向電流可以檢測氫氣濃度。