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含量分析
按氣相色譜法測定。條件：柱為不銹鋼柱，長6m，內徑4mm。充填料為PoraPakQ，或類似品。載氣為氫氣[99.99%（V/V）]，流量40ml/min。用環線進樣器。檢測器為熱電導檢測器。柱溫為60℃。檢測器溫度130℃。操作：將標本氦經氣體進樣閥送入氣相色譜儀。選擇GC的操作條件，使標準峰信號相當于不低于滿刻度讀數的70%，這樣可使氮和氧完全從氦中分出（氮和氧彼此可能無法分清）。由供試樣本所得的峰響應值所顯示的滯留時間，應與由空氣一氦檢定標準樣本（由工業級氦中混入1.0%空氣，由廠商提供）所得的峰響應相當，并表示出不超過1.0%的空氣量（體積），而He的含量應不低于99.0%（體積）。
氦氣純度
工業氦
項目名稱指標
氦氣純度：≥99%
氖（氫）、氧（氬）、氮、甲烷總含量，%≤1
水分含量，露點，≤-43℃
純氦
項目名稱指標
優等品一等品合格品
氦氣純度，%≥99.99599.99399.99
氖含量，ppm≤152540
氫含量，ppm≤357
氧（氬）含量，ppm≤355
氮含量，ppm≤101725
一氧化碳，ppm≤111
二氧化碳，ppm≤111
甲烷量，ppm≤111
水分含量，ppm≤101520
高純氦氣
氦氣純度>99.999%，
雜質含量（ppm）：
O2≤0.5，
N2≤1.0，
CO≤0.5，
CO2≤0.5，
CH4≤0.5，
H2O≤0.5，
Ne≤8.0；
超純氦氣
氦氣純度>99.9999%，
雜質含量（ppm）：
N2≤0.5，
O2≤0.5，
Ne≤0.5，
CO≤0.1，
CO2≤0.1，
THC≤0.1，
H2O≤0.2；
