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Honeywell 霍尼韋爾氣體探測器SPXCDULNRXM固定式氣體偵測器
IMEC研究人員則表示,他們使用了使用新的介電材料(SrTiO3或STO),并使用原子層沉積(ALD)工藝去Pattern,打造了11nm的柱狀電容。通過調整電容器和生長它的SrRuO3(SRO)外延模板的材料特性,研究人員實現了非常高的介電常數(k~118)和低漏電(±1V時10-7 A / cm2)。這意味著可以使用柱形電容器代替現有的杯形電容器,而不會在降低數據存儲能力方面付出太多代價。這些結果使STO電容器適用于16nm和更小DRAM的持續縮放。

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