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標簽:萊蕪集成電路凈化車間,萊蕪凈化工程安裝,萊蕪潔凈廠房,萊蕪凈化設備
萊蕪承接集成電路凈化車間安裝工程
? ? ? ? 青島潔凈凈化技術有限公司凈化除塵系列??風淋室、工作臺、自凈器、送風口、傳遞窗、潔凈層流罩、潔凈采樣車、生物安全柜、風淋屏、潔凈保管柜、無塵衣柜、鞋柜系列、初效空氣過濾器、凈化系列??臭氧殺菌機、臭氧一體機中效空氣過濾器、空氣過濾器、凈化耗材系列。
針對集成電路生產環境要求的空氣潔凈度等主要取決于集成電路的集成度,不同工序的空氣潔凈度等是依據可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。
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舉個例子,集成電路前工序潔凈廠房,無塵車間設計按加工、生產5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um,控制粒子粒徑0.2um.
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無塵車間空氣潔凈度等要求:
光刻、勻膠區???????????? ISO 3
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區?? ISO 4
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區?? ISO 6
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萊蕪承接集成電路凈化車間安裝工程,對于潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
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凈化配件之防火彩鋼板安裝工程,凈化工程系列? 凈化工程(十,百,千,萬,十萬,三十萬潔凈室)、潔凈棚工程,無菌室,無塵車間,GMP制藥廠凈化車間,電子廠凈化車間等安裝工程。
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