等離子體被稱為物質第4形態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過多級凈化，將有害物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。
?
? ? 低溫等離子體廢氣凈化設備工作原理是采用高壓發生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。經過低溫等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量，因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。
