高真空系
滑閥式真空泵
（Rotary Piston Vacuum Pump）
廣泛應用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術、新工藝的生產(chǎn)與研制中。
滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、
油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。優(yōu)點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。
用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為
增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優(yōu)點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，
冰箱流水線，真空
冷凍干燥機等。
羅茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一種旋轉式變容真空泵，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機組的
主泵，需要用前級泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國內最大羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。
性能參數(shù)
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參數(shù)名稱
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參數(shù)定義
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真空泵的極限壓強
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泵的極限壓強單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標準試驗罩 并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強。
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真空泵的抽氣速率
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泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試 驗罩，并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩 流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
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真空泵的抽氣量
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真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。
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真空泵的起動壓強
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真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用 時的壓強。
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真空泵的前級壓強
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真空泵的前級壓強 單位是Pa，它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
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真空泵的最大前級壓強
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真空泵口最大前級壓強單位是Pa，它是指超過了 能使泵損壞 的前級壓強。
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真空泵的最大工作壓強
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真空泵的最大工作壓強單位是Pa，它是指對應最大抽氣量 的入口壓強。在此壓強下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
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真空泵的壓縮比
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壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
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真空泵的何氏系數(shù)
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泵抽氣通道面積上的實際抽速 與該處按分子瀉流計算的理論抽速 之比。
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真空泵的抽速系數(shù)
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泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
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真空泵的返流率
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泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規(guī)定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質量流率。
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水蒸氣允許量
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水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵 在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質量流量。
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最大允許水蒸氣入口壓強
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最大允許水蒸氣入口壓強 單位是Pa。它是指 在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強。
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壓強范圍
真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
