雙級油式旋片真空泵/替代愛德華E2M80、愛發(fā)科VDN90真空泵

雙級油式旋片真空泵/替代愛德華E2M80、愛發(fā)科VDN90真空泵

產(chǎn)品說明：

愛德華E2M80雙級油式旋片真空泵是理想中的中、高真空獲得設(shè)備，用于抽除普通空氣或惰性氣體和少量可凝性蒸汽。

產(chǎn)品用途：

主要應(yīng)用于真空鍍膜、微電子、光電半導(dǎo)體、封裝測試、真空含浸、等離子清洗行業(yè)。

工作原理：

由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片，將定子分隔成兩個工作腔（高、低級工作腔），旋轉(zhuǎn)時，雙級旋片式真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動，使得高級工作腔容積周期性擴(kuò)大而吸氣，低級工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體，借助氣體和油的壓力推開排氣閥排氣，從而獲得真空。當(dāng)吸入壓力較高時（例如從大氣壓開始吸氣），氣體在高級腔被壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出，另一部分氣體經(jīng)壓縮后通過中壁內(nèi)的級間通道進(jìn)入低級腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出，此時高低級腔同時排氣；當(dāng)吸入壓強(qiáng)較低時（例如泵工作一段時間之后），氣體由吸氣口進(jìn)入高級腔，氣體在高級腔內(nèi)壓縮所產(chǎn)生的壓力不足以推開輔助排氣閥而直接通過級間通道進(jìn)入低級工作腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出。

產(chǎn)品參數(shù)：

抽   速：每小時80立方米；

真空 度：0.004mbar；

極限真空度：0.0004mbar；

功   率：2.2kw；

進(jìn)氣口徑：ISO40；

排氣口徑：NW25；

轉(zhuǎn)速：1450rpm

電   壓：三相380V；

體積（長寬高）：870*266*428mm；

重   量：125kg；

噪   音：70dB；

油   量：5L

產(chǎn)品關(guān)鍵詞：雙級油式旋片真空泵、愛德華E2M80真空泵、高真空度真空泵