Parker派克減壓閥、超高純減壓閥、微型超精密減壓閥-派克儀表總代理

Parker派克減壓閥、超高純減壓閥、微型超精密減壓閥-派克儀表總代理

Parker減壓閥是針對半導(dǎo)體流程工藝的精確控制和高性能要求而開發(fā)的產(chǎn)品，它針對超   

高純氣體流通環(huán)境的要求以及特種氣體的特性進行設(shè)計和制造。

①. 超高純減壓閥表面安裝集成模塊（IGS ）系列：

? 1 1? "&1 1?8"SEMI 模塊化接口設(shè)計

? 表面光潔度為 Ra

? 無螺紋/彈簧設(shè)計(介質(zhì)流通的腔道內(nèi))

? Hastelloy C-?材質(zhì)的膜片和閥芯

? 膜片/閥芯一體式設(shè)計

②. 微型超精密減壓閥

? 最優(yōu)化的設(shè)計使流道、內(nèi)腔與介質(zhì)的接觸面積最小

? 表面光潔度為 Ra

? 無彈簧/螺紋設(shè)計(介質(zhì)流通的腔道內(nèi))

? Hastelloy C-?材質(zhì)的膜片和閥芯

? 膜片/閥芯一體式設(shè)計

③.超高純減壓閥SQ系列

? 終端（POU ）減壓閥

? 無彈簧/螺紋設(shè)計(介質(zhì)流通的腔道內(nèi))

? Hastelloy C-?材質(zhì)的膜片和閥芯

? 膜片/閥芯一體式設(shè)計

④. Quantum系列：

? 膜片/閥芯一體式設(shè)計

? 內(nèi)腔無螺紋設(shè)計

? 膜片與閥體間采用金屬密封

? 標準Cv值0  . 04；Cv值0  . 可選

? 兩級減壓可選