廢氣源→集氣罩(搜集車間各個廢氣源的廢氣,接入主管道)→廢氣凈化塔(吸收掉粉塵以及顆粒物,降低廢氣溫度,為等離子提供優良的運行環境)→一級低溫等離子廢氣凈化器(破壞廢氣分子結構,轉化為無污染物質)→二級低溫等離子廢氣凈化器(進一步破壞廢氣分子結構,轉化為無污染物質)→高壓風機(高壓的吸力作用下將風抽出車間)→廢氣洗滌塔(進一步吸收粉塵以及顆粒物以及一些酸堿氣體,水洗小分子碎片,利于檢測達標)→光解式廢氣凈化裝置→煙囪高空排放(也可低空排放)。
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