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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 產(chǎn)品特性 | 鍍膜機(jī) | ||
| 新舊程度 | 9成新 | ||
| 設(shè)備所在地 | 東莞茶山 | ||
| 設(shè)備生產(chǎn)產(chǎn)地 | 日本 | ||
| 產(chǎn)品數(shù)量 | 1 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | OTFC-1300 | ||
設(shè)備名稱OTFC-1300CBI/DBI
真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架φ1130mm
工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 50rpm(可變)
光學(xué)膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚計(jì)XTC/3 6點(diǎn)式水晶傳感器
蒸發(fā)源電子2套
離子源17cmRF離子源
排氣系統(tǒng)機(jī)械泵 2個(gè)擴(kuò)散泵 Polycold（或2個(gè)冷凝泵）
達(dá)到壓力7.0×10-5 Pa 以下
排氣時(shí)間15分（大氣壓～1.3×10-3 Pa)
基板溫度高：350℃
工作條件
設(shè)備尺寸約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
電源3相,200v,50/60Hz, 約104KVA
水流量140升/分以上
空氣壓力0.5MPa以上
重量約8500kg
