晶圓背面研磨製程中所使用的保護(hù)膠帶特點(diǎn)：
1 為半導(dǎo)體晶圓廠或封裝廠做晶圓背面研磨製程中所使用的保護(hù)膠帶。獨(dú)家擁有之高品質(zhì)膠體,膠膜製造及塗佈技術(shù)下開發(fā)出來的一種超潔淨(jìng)的表面保護(hù)膠帶。
2)做IC製造過程中矽晶圓晶背研磨製程中的表面保護(hù)膠帶。使用幾乎不會(huì)污染晶圓表面的特殊親水性膠體,因此清洗晶圓的製程可以省略,生產(chǎn)成本及對(duì)環(huán)境的衝擊,也因此得以降低,同時(shí)提昇產(chǎn)品的良率,實(shí)質(zhì)上達(dá)成降低成本的要求。
3)此外，可使晶圓得到最佳的厚度均勻性,並藉優(yōu)良的研磨緩衝特性,減少破片的發(fā)生。因其良好品質(zhì)所帶來的聲譽(yù)及可靠性,世界各國(guó)之大晶圓廠及封裝測(cè)試廠幾乎均以採用。具有下到主要特性:
(1) 高度潔淨(jìng)及極低離子雜質(zhì)。
(2) 軟硬適中,可有效吸收震動(dòng)及應(yīng)力,減少破片發(fā)生。
(3) 具優(yōu)良的厚度均勻性。
(4) 特別研製的膠體,不易發(fā)生殘膠。
(5) 親水性膠體,撕膠後若要求更高潔淨(jìng)度,亦只需用超純水清洗即可。
4)除了常用的規(guī)格外,q ngk ,推出適合各種先進(jìn)製程的產(chǎn)品,諸如超潔淨(jìng)的研磨膠帶、抗靜電研磨膠帶、耐熱研磨膠帶、超薄晶片研磨膠帶、金錫凸塊專用研磨膠帶等,以協(xié)助客戶製作先端的產(chǎn)品。
