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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | V3 | ||
| 發貨地 | 武漢 | ||
| 產地 | 俄羅斯(原裝進口) | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 用途 | 晶圓基片半自動旋涂 | ||
| 型號 | LCS | ||
LCS專為晶圓和平面基片的半自動旋涂和開發而設計，將是試點項目、研究所和研發的最佳選擇。 它保證了高均勻性和可重復性以及簡單的操作和維護。 它可以處理最大 150 毫米的晶圓或最大 125x125 毫米的方形基片。
為了與試劑等化學品相兼容，腔體材質是由 POM、陽極氧化鋁、聚丙烯、不銹鋼或 PTFE 制成。
旋涂工藝程序通過觸摸屏進行設置。 用戶可以編寫多達 20 個步驟的 50 個程序段。每一步可設置不同的速度、加速度和時間參數。
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選配項：
·背面沖洗 (BSR)
·晶圓去邊?(EBR)
·氣動注射器分配系統
·電動注射器分配系統
·帶數字儀表和壓力控制的加壓瓶分配系統
·各種真空或機械托盤
·晶圓對準工具
·腔體材質由陽極氧化鋁、聚丙烯或 PTFE 制成
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特征：
·擁有觸摸屏界面
·多達 5 條試劑管路
·具有可編程分配高度的電動臂
·占地面積小 600x625 毫米
·自動透明蓋
·多種尺寸旋涂托盤
·托盤更換快速簡便
·處理腔室易清洗
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技術參數：
晶圓尺寸最大 | 150 mm |
基片尺寸最大 | 125x125 mm |
轉速范圍 | 0 - 10 000 rpm |
試劑管路 | 最多 5 個 |
存儲的程序 | 幾乎無限 |
電源電壓 | 230 VAC 50/60Hz 15A |
CDA 供應壓力 | 4-5 bar |
CDA 連接管 | 8 mm |
排氣 | 55-60 m3 |
排氣接頭 | 50 mm |
排水管 | 12 mm |
外形尺寸 | 600x625x1300 mm |
重量 | 130 kg |
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邁可諾技術有限公司
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