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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 品牌 | NeutronixQuintel | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進(jìn)口 | 是 | ||
| 重量 | 217kg | ||
| 外形尺寸 | 1220mm x 915mm x 1423mm | ||
| 真空 | -0.7 bar (21” Hg) | ||
| Voltage | 240VAC 50Hz | ||
| Compressed Air | 5.4 bar (80 PSI) | ||
| Nitrogen (or CDA) | 3 bar (40 PSI) | ||
| 紫外燈 | 350/500W or 500/1KW | ||
| Mask Size | 3”x3” up to 9”x9” | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | NXQ4006 | ||
1.光刻機(jī)主機(jī)
1.1具有穩(wěn)定可靠的芯片厚度補(bǔ)償系統(tǒng)；
1.2 PLC控制系統(tǒng)，可進(jìn)行工藝參數(shù)的編程，操作便捷；
▲1.3具有自動執(zhí)行楔形誤差補(bǔ)償，并在找平后自動定位功能；
1.4采用LED穿透物鏡照明技術(shù)，具有超強(qiáng)對準(zhǔn)亮度；
1.5配套集成式防震臺；
-LED紫外線燈罩?
-曝光波長365405435nm
-LED壽命長，無需維護(hù)
-恒定強(qiáng)度，無需每天調(diào)整
-即時開啟-不使用時無需開啟
-低功耗
-閉環(huán)液體冷卻系統(tǒng)
-具有MS Windows界面的基于PC的控件
-基于Windows 10的菜單驅(qū)動圖形用戶界面
-配方設(shè)置功率電平
-g、h和i線紫外線強(qiáng)度的獨立控制
-配方設(shè)置從20到100輸出
-365時可編程范圍為6mw-30mw/cm2
-405時可編程范圍為15mw-75mw/cm2
