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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 元祿光電 | ||
| 刻蝕最小線寬 | ＜10 um | ||
| 激光器 | 納秒綠光532nm、皮秒綠光532nm、皮秒紫外355nm、飛秒紅外1030nm、飛秒綠光515nm、實驗室刻蝕機1064/532nm | ||
| 整機精度 | ±15μm | ||
| 加工幅面 | 100*100/200*200/300*300/400*300/600*600/600*900/700*1400mm可選 可定制加工幅面 | ||
| 最小線寬 | ＜30μm/＜10μm/＜50um | ||
| 聚焦光斑 | ＜30μm/＜10μm/＜50um | ||
| 工作臺定位精度 | ±3um/±20μm | ||
| 激光器頻率調節范圍 | 30-150KHz/1-1000KHz/25-5000KHz/1-2000KHz/ | ||
| 工作臺重復精度 | ±1um/±20μm | ||
| CCD自動定位精度 | ±3um/±10μm | ||
| 刻蝕速度 | 最大刻蝕速度4000mm/s（單線） | ||
| 設備尺寸 | 1200*1200*1700mm（300*00mm幅面約1000 大尺寸及雙光路 /1280*1400*1750mm（300*300mm幅面內）約1800Kg 皮秒/飛秒 電話聯系 /1800*1800*1750mm（600*600mm幅面內） 約2500kg皮秒/飛秒 | ||
| 設備重量 | 3500kg | ||
| 功率 | 5W/10W/15W/20W/30W/40W | ||
| 可處理文件格式 | 標準CAD DXF文件 | ||
| 振鏡 | 10/14mm通光孔徑 | ||
| 聚焦鏡 | 40*40/70*70/110*110mm幅面（根據不同的應用場景選擇） | ||
| 擴束鏡 | 4X、2-8X可調、1.5X | ||
| 熱影響區 | ＜5μm/＜3μm | ||
| 直線度 | ±10μm/±5μm（最小可至±1μm）/±20μm | ||
| Z軸電機行程 | 50mm（自動軟件控制）/手動500mm | ||
| 設備功耗 | ＜2500W/＜3000W/＜1500W | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;云南;臺灣;陜西 | ||
| 型號 | 納秒綠光ET200MG、飛秒紅外ET300IR-FS皮秒紫外ET300UV-PS、皮秒綠光ET300MGPS、飛秒綠光ET300MG-FS、實驗室刻蝕機 ET100IR/ET100MG | ||
基本功能
滿足剛性玻璃基底表面的薄膜類太陽能電池刻蝕，采用四臺設備分別對應不同薄膜電池不同功能層刻蝕需求。P1采用納秒紅外刻蝕TCO，P2采用皮秒紫外或綠光刻蝕功能層，P3采用皮秒紫外或綠光刻蝕背電極，P4采用高功率納秒紅外做清邊。
特別注明：柔性基底中試線元祿光電開發中，可電話詳細咨詢聯系！
產能高：可配備多路光束加工（可配單路），單機產能可達100MW;
精度高：采用高精度CCD定位，定位精度±15um；
可靠度高：采用特有結構，設備穩定性高；
適應性強：每一臺設備既可離線（前后需加一段接駁臺），又可在線使用，適應不同客戶的需求；
