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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | PlasmaSTAR | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進口 | 是 | ||
| 射頻頻率 | 13.56 MHz | ||
| 射頻功率 | 0~600W瓦之間距連續可調，自動匹配 | ||
| 控制系統 | 電阻觸摸屏操作界面 | ||
| 可編程序 | |||
| 無線存儲數據 | |||
| 氣路控制 | 標配2路MFC，最多可選配4路 | ||
| 設備尺寸 | 寬800 x 深850 x 高525mm | ||
| 工藝均勻性 | ≥±10 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 材質 | 硬質陽極氧化鋁矩形腔體 | ||
| 型號 | PlasmaStar 100/100RIE | ||
一、反應離子刻蝕機PlasmaStar 100儀器介紹
1、腔體尺寸：直徑≥200mm，深度≥280mm；
2、腔體材質：硬質陽極氧化鋁矩形腔體；
3、處理腔背面材質：鋁；
4、處理腔門：要求全自動腔門；
5、兩路工藝氣體，≥2路質量流量控制器控制氣體流量，氣體輸入腔室帶勻流設計；
6、射頻功率：0~600W連續可調，13.56MHz，自動匹配，自然風冷；
7、配備RIE平面水冷平板電極；
8、7英寸及以上顯示器、觸摸屏、圖形用戶界面；?
9、程序控制：觸摸屏電腦控制，無線程序存儲；
10、Windows操作系統，兼容Windows office軟件，USB接口，可進行外部電腦遠程控制的功能；
11、狀態和出錯信息提示，過程數據和出錯信息存儲，可選擇自動和手動操作模式，過程數據可以導出，工藝參數以圖形方式呈現，可實時監控，自動實現泄露檢測；
12、配套緊急急停按鈕（EMO)，配套電路斷路器，機械聯鎖（門傳感器）和真空聯鎖（壓力開關），通過軟件可進行遠程的真空聯鎖；
13、典型的光刻膠刻蝕速率：80nm/min；
14、典型工藝均勻性：≥±10；
邁可諾技術有限公司
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