高分辨率、高精度手動(dòng)紫外光刻機(jī)URE-2000\/25LURE-2000\/25

產(chǎn)品價(jià)格：	200000.00/人民幣
最后更新：	2023-12-17 23:44:23
產(chǎn)品產(chǎn)地：	北京北京
發(fā)貨地：	北京北京 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	56

公司基本資料信息

上海鑫有研電子科技有限公司
陳經(jīng)理先生市場部經(jīng)理
會(huì)員[試用會(huì)員產(chǎn)品]
郵件siyouyen@sina.com
手機(jī)13761297466
電話
傳真
地址上海市楊浦區(qū)寧國路313號(hào)龍澤大廈9號(hào)906室

產(chǎn)品詳細(xì)說明

產(chǎn)品參數(shù)
高分辨率、高精度手動(dòng)紫外光刻機(jī)URE-2000/25L URE-2000/25 品牌	鑫有研

高精度紫外光刻機(jī)
型號(hào)：URE-2000/25 URE-2000/25L
主要技術(shù)指標(biāo)：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（膠厚1.5μm的正膠）
對準(zhǔn)精度：±0.8μm
最大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點(diǎn)：
球氣浮實(shí)現(xiàn)高精度調(diào)平；超精密手輪對準(zhǔn)調(diào)節(jié)，單片機(jī)控制,觸摸開關(guān)操作；整機(jī)精度高、性能可靠

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