Tergeo Pro大尺寸臺式等離子清洗機

Tergeo-Pro 等離子系統將腔室直徑增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等離子系統足夠大，可以容納 8 英寸晶圓，容納一兩個 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等離子系統可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以 1 瓦的間隔進行調整。射頻電源的頻率為 13.56MHz，提供比 KHz 射頻等離子系統更高的等離子生成效率。Tergeo 等離子系統不僅可以調整射頻功率，還可以產生連續或脈沖等離子。脈沖比可以從 調整到小于 1。夸脫室壁結構可實現外部電容耦合射頻電極設計。

以下是典型應用案例：

1）光刻膠灰化、除渣和硅片清洗；

2）在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片；

3）生物醫用涂層前表面處理，提高醫用植入物的親水性；

4）環氧樹脂粘合前的光學元件、玻璃、光纖頭和基板清潔；

5）PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室；

6）改善金屬與金屬或復合材料的粘合；

7）改善塑料、聚合物和復合材料的粘合；

產品特點：

1.大型樣品室

針對大尺寸基片而研發設計，腔室足夠大，可容納8英寸晶圓，一個或兩個 25片/50片 6"/4"晶圓 的石英舟。

2.等離子傳感器

可實時監測等離子狀態，并為用戶提供不同配方條件下等離子強度的定量反饋，實時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監測等離子灰化過程的進程并用作終點指示器。

3.連續或脈沖等離子

脈沖比可以從 調整到小于1。改變等離子體強度超過幾個數量級。

4.過程控制功能

壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、等離子強度傳感器、自動阻抗匹配。

技術參數：

1、艙體大小：內徑230mm，外徑240mm，深度340mm，可容納一個8英寸晶圓，一個或兩個?25片/50片?6"/4"晶圓的石英舟。

2、艙體材質：標配為高純度圓柱形石英艙。

3、樣品架：5mm厚高純石英板，尺寸寬度220mm?x?長度280mm。

4、常用氣體：空氣，氧氣，氫氣，氬氣，氮氣和其他混合氣體。

5、氣路控制：標配兩路MFC；zui多可選配三路MFC，0~100sccm之間 控制氣體流量。

6、控制系統：7英寸電阻觸摸屏操作界面。

7、程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟。

8、射頻頻率：13.56MHz。

9、射頻功率：標配0~150W，以1瓦間隔連續可調，自動阻抗匹配；可選配300W或500W。

10、等離子源:：等離子強度探測器實時定量檢測等離子狀態；電阻耦合電離方式?。

11、電極設計：外置電極設計，可實現更大、更均勻的等離子體體積，高壓電極不和等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

12、設備電源：220?V/50Hz。