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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | PIE | ||
| 產品特性 | 石英腔體 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 產地 | 上海 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 產品用途 | 表面清洗 | ||
| 產品別名 | 表面鍵合機 | ||
| 外形尺寸 | 471mm*380mm*478mm | ||
| 重量 | 35kg | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 類型 | 平面前處理線 | ||
| 型號 | Tergeo | ||
一、Tergeo等離子清洗機主要配置：
| 產品型號： | Tergeo | Tergeo ? Plus |
| 腔室大小： | 內徑φ110mm,深度280mm； | 內徑φ160mm,深度280mm； |
| 腔室材質： | 高純度石英玻璃，相對于派瑞克斯（Pyrex）玻璃有著更強地 性和更少地堿雜質； | |
| 常用氣體： | 空氣，氧氣，氫氣，氬氣，氮氣和其他混合氣體； | |
| 氣路控制： | 標配兩路MFC，可選配三路MFC； | |
| 射頻頻率： | 13.56 MHz，遠高于同條件下KHz頻率所產生的等離子密度； | |
| 射頻功率： | Tergeo 0~75W連續可調，可選配到150W； Tergeo Plus標配150W，可選配到300W和500W； 射頻功率可以以 1 瓦的間隔進行調整； | |
| 程序設置： | 共有20個可設置的程序配方，工作順序中 多有三個清潔步驟。 | |
| 用戶界面： | 7英寸電阻觸摸屏，可用手指觸摸，無需手寫筆。 | |
| 操作方法： | 自動配方執行：自動工作序列執行;手動操作。 |
二、Tergeo等離子清洗機主要用途：
1、清洗納米級樣品；
2、蝕刻光刻膠，除渣、硅片清洗；
3、引線鍵合倒裝芯片底部填充，器件的封裝和解封；
4、PDMS/微流控/載玻片/芯片實驗；
5、改善金屬與金屬或復合材料的結合；
6、聚合物上的官能團，實現親水或疏水潤濕性，提高粘合強度和可印刷性，促進醫療設備的生物相容性。
