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西特 Setra 227 型傳感器專用于當(dāng)今的300mm 工具所要求的高密度、模塊式block氣體棒和面板。227 型1-1/8" 的占地面積優(yōu)化了有價值的空間,其堅固的設(shè)計使其非常適合那些要求長期穩(wěn)定性、高精度和對惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測量應(yīng)用。
與其它具有較大死端空泡體積的設(shè)計不同,西特 Setra 227 型傳感器專用于當(dāng) 型具有一個方便洗滌的小排量傳感器艙。所有濕潤部件均為優(yōu)質(zhì)VAR 316L SS 材料,電解拋光至5 Ra(10max.)的終飾。每一個傳感器都經(jīng)質(zhì)譜儀進行過高達1 x 10-9 atm.cc/sec 的氦滲漏試驗。
可選擇5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 輸出,227 型可提供±0.25% 全量程或±1.0% 的讀數(shù)精度。227 型配備了一個節(jié)省空間的1 1/8" C 型密封件下安裝接口底座,并可選擇多芯電纜、4 針bayonet 連接器和一個9 針或15 針D 型連接器用于電氣終端。加上327 型的1-1/8" 可旋轉(zhuǎn)顯示器,該產(chǎn)品包達到了壓力測量及顯示的極致。該獨特設(shè)計包括在旋轉(zhuǎn)保護蓋下面的側(cè)接近至零點及范圍調(diào)節(jié),可選擇絕對壓、表壓或復(fù)合壓。
Setra 獲專利的可變電容傳感器的特點在于一個316L 不銹鋼膜片和一個絕緣電極板。在傳感器主體和電極板之間形成一個可變電容器。壓力的增加致使膜片略微變圓,從而增加了電容。 通過Setra 獨特的定制集成電路檢測電容值的變化,并利用獲專利的電荷平衡原理將其轉(zhuǎn)換成高度精準(zhǔn)的線性DC 電信號。Setra 的整個超高純系列均基于Setra 的被廣泛認(rèn)可的電容傳感技術(shù),高度精準(zhǔn)和穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號基本上可抑制電磁干擾/ 射頻干擾(EMI/RFI)。
●模塊式1-1/8" 氣體棒和面板 ●高純氣體傳輸系統(tǒng) ●半導(dǎo)體工藝工具