DEPOX系列／小型高真空排氣裝置
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特 性
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在管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統(tǒng)、壓力測量口等必要機器的小型高真空排氣裝置。DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)構造的4個類型。使用簡單，最適合用于實驗。
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應 用
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1.
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帶腳輪，容易移動的排氣裝置。
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2.
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帶調整裝置，能夠確保設置的安全性。
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3.
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不會使主泵停止運轉，可以對真空槽進行開放。
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4.
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使用三向切換閥等，因為構成零件少，所以便于維護與保養(yǎng)。
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5.
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可以把真空計等選購件安裝到同一管架上。
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6.
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因為油擴散泵是空冷型的，所以不要冷卻水。
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型 號
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VFR-200M/X
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極限壓力
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10-4Pa
10-5Pa (使用液氮時)
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主泵
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油擴散泵（氣冷） 200 L/sec
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前級泵
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油旋片真空泵 100 L/min
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主閥門
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蝶閥 65A
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副閥門
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三向切換閥
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進氣口直徑
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JIS VG-65
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重量
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120.7kg
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尺寸
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730mm(W)×584mm(D)×804mm(H)
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※電離真空計、皮拉尼真空計、液氨冷阱、吸氣法蘭、油霧過濾器是選購件。
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型 號
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VFR-200M/X
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電源需求
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單相, 100V, 1.4kVA
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接地端子
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D級（接地抗阻/100Ω 或更低）
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附件
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乙烯絕緣軟電纜（R3.5-4帯端子） 4m
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型 號
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DPF-200
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極限壓力
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10-5Pa
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最大排氣速度
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200L/sec
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臨界背壓
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20Pa
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電源需求
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單相, 50/60Hz, 100V, 0.45kW
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推薦用油
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SX 70cc
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重量
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5kg
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進氣口直徑
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JIS VG-65
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出氣口直徑
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外徑 27mm
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冷卻方法
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氣冷
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